湖北興福電子近日以4626.78萬元收購湖北三峽實驗室重大科技成果“光刻膠用光引發(fā)劑制備專有技術(shù)及實驗設(shè)備所有權(quán)”。這項半導(dǎo)體領(lǐng)域技術(shù)走向市場后，將打破該材料長期被境外企業(yè)壟斷的局面。
湖北三峽實驗室光引發(fā)劑項目研發(fā)負(fù)責(zé)人介紹，此次轉(zhuǎn)讓的成果G/I線光刻膠用光引發(fā)劑的關(guān)鍵技術(shù)，主要用于芯片和顯示領(lǐng)域。
芯片制造需要幾百種設(shè)備和材料，其中對光刻膠的感光度和分辨率起決定性作用的，就是光引發(fā)劑?！澳壳?，在國產(chǎn)芯片和顯示領(lǐng)域，光刻膠用光引發(fā)劑幾乎全部依賴進口。”該負(fù)責(zé)人表示。
“這是一次市場需求倒逼的研發(fā)創(chuàng)新，企業(yè)出題，實驗室答題?！焙比龒{實驗室主任池汝安透露，微電子新材料是三峽實驗室的研究方向之一，近年來，許多半導(dǎo)體客戶表示，因光引發(fā)劑遭遇限購和斷供，給國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的生產(chǎn)帶來極大壓力。
興福電子希望切入光引發(fā)劑產(chǎn)業(yè)賽道，提出研發(fā)需求意向后，三峽實驗室當(dāng)即決定開展光引發(fā)劑關(guān)鍵技術(shù)的攻關(guān)。
在歷經(jīng)三年研發(fā)攻堅后，2025年5月，上海一家光刻膠龍頭企業(yè)回復(fù)三峽實驗室：“送樣各項指標(biāo)與國外進口廠商達(dá)到同一水平?！彪S后，中試樣品在多家光刻膠企業(yè)都通過了初輪驗證，相關(guān)技術(shù)終于具備產(chǎn)業(yè)化條件。
池汝安介紹，該成果已進入產(chǎn)業(yè)化前期階段，投產(chǎn)后將成為湖北第一條光刻膠用光引發(fā)劑生產(chǎn)線，對我國光刻膠產(chǎn)業(yè)發(fā)展將起到積極作用。
